1.如果儀器不是每天都使用，建議每周啟動并檢查一次，以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動時間。

　　2.儀器部件（如離子源）拆卸后，安裝過程中應(yīng)避免在安裝現(xiàn)場發(fā)生泄漏，儀器可用于泄漏檢測。

　　3.及時對泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自檢。）可能出現(xiàn)在儀器上，并在發(fā)現(xiàn)泄漏點后及時移除、清潔或緊固，以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。

　　4.檢漏儀維護(hù)定期維護(hù)油泵。（散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換）

　　5.嚴(yán)禁在檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦氣檢漏設(shè)備是一種高精度儀器，其儲存和使用環(huán)境應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或合格的設(shè)備維護(hù)工程師才能使用該儀器。

　　6.使用時，請注意儀器的操作。一旦出現(xiàn)大振動、高噪音等狀況時，儀器在操作過程中不能移動。渦輪分子泵正在高速運轉(zhuǎn)。如果泄漏檢測器移動，渦輪分子泵中的葉片將很容易與轉(zhuǎn)子的圓筒碰撞。立即切斷電源并排除故障，否則會對氦氣檢漏設(shè)備造成不良影響。